Optimasi Tegangan Akselerasi pada Scanning Electron Microscope – Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (SEM-EDX) untuk Pengamatan Morfologi Sampel Biologi

Abstrak

Scanning Electron Microscope – Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (SEM-EDX) merupakan metode yang yang digunakan untuk pengamatan morfologi permukaan dan unsur kandungan berbagai jenis sampel padat dengan prinsip tembakan elektron. Keunggulan pengamatan perbesaran tinggi dan kemampuan deteksi unsur kandungan mulai dari unsur organik hingga anorganik menyebabkan penggunaannya sangat luas termasuk dalam pengamatan sampel biologi. Di Laboratorium Mineral dan Material Maju FMIPA telah banyak mendapat permintaan pengamatan sampel biologi menggunakan SEM-EDX. Akan tetapi, dalam penerapan pengondisian sampel biologi seringkali mendapati kendala hasil yang kurang maksimal. Pada sampel biologi tentu saja tidak hanya pengondisian sampel yang harus diperhatikan, melainkan juga faktor-faktor penting lainnya yaitu pengondisian peralatannya seperti tegangan akselerasi yang digunakan. Untuk didapatkan hasil yang maksimal, tegangan akselerasi sangatlah penting, faktor ini menentukan besarnya energi dan kedalaman tembakan elektron yang mengenai sampel. Dengan kondisi sampel yang kurang stabil namun diinginkan hasil morfologi yang maksimal serta unsur kandungan lengkap maka perlu dilakukan pengamatan dan penentuan optimalisasi tegangan akselerasi pada SEM EDX untuk pengamatan sampel biologi. Pada tulisan ini dilakukan pembahasan penentuan optimalisasi tegangan akselerasi pada pengamatan sampel biologi menggunakan tegangan akselerasi 5 kV hingga 30 kV. Hasil analisa SEM sampel biologi menunjukkan fenomena charging pada tegangan lebih dari 15 kV dan hasil analisa EDX menunjukkan pada tegangan kurang dari 15 kV beberapa kandungan unsur tidak terbaca.